超纯水设备

出水指标：电阻率≥18.2MΩꞏcm，TOC＜200ppb，SiO2＜50ppb，粒子＜ 10个/mL
工艺简介：原水→砂碳过滤→保安过滤器→两级RO→UV杀菌 →0.45um膜滤器→EDI→精处理→超纯水用水点
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